刻蚀浆料厂家浅谈刻蚀的速率
习惯上把单位时间内去除材料的厚度定义为刻蚀速率。如图1所示，刻蚀速率=△d/t。刻蚀速率由工艺和设备变量决定，如被刻蚀材料种类、刻蚀机的结构、使用的刻蚀气体种类以及配比、射频功率、腔室压力等。
图 1刻蚀速率
一般增加刻蚀气体的流量、增大射频功率等方法可以得到更快的刻蚀速率，但并不是刻蚀速率越快越好。一方面刻蚀速率太快而无法控制，这样就无法用于工业生产;另一方面，还要均衡刻蚀均匀性、刻蚀形貌等其他刻蚀质量的参数。所以某一类型机台在特定条件下会有一个大概的刻蚀速率范围。